ulvac真空計的故障排除

發(fā)布時間：2022-10-18　點擊量：1691

ulvac真空計的故障排除

使用注意事項

1.由于靈敏度是用氮氣校準的，如果殘留氣體的主要成分不是氮氣，則顯示值與實際壓力不同。

2.當(dāng)測量含有氧氣或水蒸氣的氣體時，燈絲會迅速反應(yīng)并劣化。
為了減少消耗，要么降低發(fā)射電流，要么使用具有三層涂層表面的燈絲。

3.在測量10 -4 Pa 或更低的壓力時，需要對探頭本身進行脫氣。
開始脫氣時，大量釋放的氣體會增加壓力，反過來可能會污染探頭。請務(wù)必在 10 -4 Pa 以下進行脫氣。

4.請注意，在高壓（三極管型：10 -1 Pa 或更高）下連續(xù)使用會導(dǎo)致燈絲快速磨損，從而無法獲得恒定的發(fā)射電流。

1.探頭燈絲不亮
2.探頭燈絲發(fā)出異常光（燈絲瞬間亮后熄滅54.燈絲亮但不顯示壓力
3.比平時亮）指示值波動6.指示值與預(yù)期壓力明顯不同7.未輸出設(shè)定值信號

1.寫筆燈絲不亮

2.探頭燈絲發(fā)出異常光（比平時亮）

3.燈絲亮但不顯示壓力

原因	解決方法
探頭電纜斷開	探頭電纜的維修和更換
控制器故障	要求維修

4.燈絲亮片刻，然后快速熄滅

原因	解決方法
保護電路工作是因為被測壓力很高。	用皮拉尼真空計等檢查壓力。
控制器故障	要求維修

5.指標波動

原因	解決方法
探頭或連接探頭的連接處出現(xiàn)真空泄漏	更換手寫筆或改善連接處的真空泄漏
觸控筆上的污染	接點更換
探頭電纜在振動	如果探頭電纜不斷振動，指示值可能會因探頭電纜內(nèi)部的摩擦電動勢而波動，因此請重新考慮電纜安裝方法。

6.指示值與預(yù)期壓力有顯著差異

原因	解決方法
發(fā)生漏電流	因接觸點臟污和接觸點電纜絕緣不良而更換。
?靈敏度系數(shù)設(shè)置不正確 ?被測氣體不是氮氣或空氣。	根據(jù)手冊正確設(shè)置
壓力實際上與預(yù)期不同	與其他真空計檢查

7.無設(shè)定點信號輸出

原因	解決方法
更換控制器中的繼電器	繼電器損壞 → 要求維修
發(fā)射電流失控	如果發(fā)射變?yōu)?NG，設(shè)定值信號的輸出也會被取消 → 更換測針

8.停止發(fā)射電流流動的原因及對策

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